Sustrato de IC sensor

Comencemos con una breve introducción a los sensores de MEMS: el nombre completo de MEMS es el sistema microelectromecánico. El sistema microelectromecánico se refiere a aquellos que se pueden producir en lotes, combinando micro mecanismos, microensores, micro-activadores, circuitos de procesamiento y control de señales, hasta interfaces, comunicación y fuente de alimentación son igual a un micro dispositivo o sistema integrado. Puede entenderlo como una tecnología que utiliza procesos y materiales de semiconductores tradicionales para fabricar micro-máquinas en un chip con tecnología microna, e integrarlo con el circuito correspondiente en su conjunto. Por lo tanto, es una plataforma de tecnología de fabricación avanzada desarrollada basada en la tecnología de fabricación de semiconductores.

Ventajas de los sensores MEMS: en comparación con la maquinaria tradicional, su tamaño es más pequeño, el más grande no es más de un centímetro, o incluso solo unos pocos micras, y su grosor es aún más pequeño. Utiliza materiales a base de silicio con excelentes propiedades eléctricas. La resistencia, la dureza y el módulo de materiales de silicio de Young son equivalentes al hierro, la densidad es similar a la de aluminio y la conductividad térmica está cerca del molibdeno y el tungsteno. Utilizando la tecnología de generación similar al circuito integrado (IC), la tecnología madura y la artesanía en la producción de IC se pueden usar en grandes cantidades y producción de bajo costo, de modo que el rendimiento del costo mejore en comparación con la tecnología de fabricación "mecánica" tradicional.

Los micrófonos tradicionales y los micrófonos MEMS integran siete u ocho partes mecánicas en un pequeño chip del sensor MEMS. Entonces, el volumen es muy pequeño y el peso es muy ligero. Debido a que es una fabricación de chips, tiene una buena consistencia y bajo consumo de energía, lo que facilita el producto en masa. Pero los requisitos técnicos son muy altos. La aparición de sensores MEMS cumple enormemente con los requisitos de todos para un pequeño tamaño y alto rendimiento.

Y este poderoso chip se hace con sustrato de sensor IC. Los sensores MEMS usan sustrato de sensor IC como sustrato de chip por una razón. Primero veamos las áreas de aplicación de MEMS y luego por qué es mejor usar el sustrato de Sensor IC. Comprendido.

Con el desarrollo de la tecnología electrónica, los campos de aplicación de los sensores MEMS se están volviendo cada vez más extensos, desde las primeras aplicaciones de aviación industrial y militar hasta el mercado de consumo ordinario. El ejército y la aviación pertenecen a los llamados campos de aplicación MEMS de alto valor, pero la cantidad de estos dos campos es demasiado pequeña, aproximadamente 40 millones de dólares estadounidenses al año, y el espacio para el crecimiento también es limitada. El valor de los dispositivos MEMS en electrónica médica también es bueno, y el precio de venta promedio de sus sensores es mucho más alto que otros campos MEMS comparables. En general, el ingreso operativo anual de la industria MEMS de alto valor alcanzará aproximadamente 300 millones de dólares estadounidenses. Sin embargo, las aplicaciones más utilizadas pertenecen a la industria electrónica automotriz y los mercados de aplicaciones de electrónica de consumo, que representan más del 60% del mercado de sensores MEMS. Analicemos estas dos áreas principales de aplicación a continuación.

Uno es la electrónica automotriz. Todos saben que los sensores en el automóvil están básicamente en el sistema de control, principalmente recolectando datos del motor, pero el entorno operativo del automóvil es muy duro, puede ser posible a alta temperatura, corrosión, polvo y otros factores. Hace que el sensor frágil falle. En este momento, se necesita un sustrato de IC del sensor para garantizar el funcionamiento normal de todo el sensor.